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鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負(fù)極材料的制備方法

739   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:31:41
一種鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負(fù)極材料的制備方法,屬于新能源材料領(lǐng)域。熱處理后的二氧化鈦納米管陣列作為基體,經(jīng)過抽真空、加熱、預(yù)濺射、濺射后,冷卻至40~80℃取出,其中濺射為:打開射頻電源濺射硅;濺射過程中基體加熱,完成后冷卻至40~80℃后取出樣品。將其作為負(fù)極載體材料,采用磁控濺射技術(shù)將硅濺射到二氧化鈦納米管薄膜表面和內(nèi)部,沉積效率高,方法簡便,重復(fù)性好。
聲明:
“鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負(fù)極材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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