本發(fā)明實施例公開了一種用于硒化物量子點(diǎn)的綠色制造方法及設(shè)備,涉及新能源技術(shù)領(lǐng)域,能夠克服在傳統(tǒng)濕法制造工藝中的缺陷,以便于推進(jìn)量子點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化和大規(guī)模應(yīng)用。本發(fā)明包括:將樣品(2)放入石英腔體(26)內(nèi),啟動
真空泵(24)對石英腔體(26)抽真空,向石英腔體(26)輸入?SeH有機(jī)物氣體作為?SeH等離子氣體源,啟動激光加工頭(1)掃描樣品(2)的表面,向石英腔體(26)輸入驅(qū)體氣體,并啟動激光加工頭(1)掃描樣品(2)的表面進(jìn)行加熱,向石英腔體(26)輸入Se源前驅(qū)體,啟動激光加工頭(1)加熱樣品(2)的表面,使表面吸附的源前驅(qū)體與輸入的Se源前驅(qū)體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成量子點(diǎn)陣列。本發(fā)明適用于硒化物量子點(diǎn)制造。
聲明:
“用于硒化物量子點(diǎn)的綠色制造方法及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)