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單晶硅生長爐加熱器節(jié)能支撐腳結(jié)構(gòu)

943   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 18:00:54
本實(shí)用新型涉及坩堝法生長晶體爐子裝置的改進(jìn)機(jī)構(gòu),一種單晶硅生長爐加熱器節(jié)能支撐腳結(jié)構(gòu),所述支撐腳為上、下兩段圓柱段組成,上段為石墨段(9a),且上表面開設(shè)軸向的定位銷孔,下段為絕熱段(9b),且下表面軸向開設(shè)金屬電極孔。所述上、下兩段之間以臺階結(jié)構(gòu)連接。所述絕熱段的垂直中心剖面呈U字狀,外側(cè)近似L的為硬質(zhì)支撐裹圈(9b1),中央為一圓柱形固化氈墊圈(9b2)。所述絕熱段(9b)采用氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁、石英。或梯度密度碳碳復(fù)合材料。采用本實(shí)用新型既不影響在原先位置的安裝,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、通用,支撐腳隔絕了加熱器通過支撐腳對外傳出的熱量,節(jié)約了設(shè)備運(yùn)行需要的耗電量,節(jié)電達(dá)10%以上,經(jīng)濟(jì)效益非常巨大。
聲明:
“單晶硅生長爐加熱器節(jié)能支撐腳結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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