本實用新型公開的用于鋁材表面沉積類金剛石膜的裝置,包括絕緣材料制的反應(yīng)室,反應(yīng)室與化學氣相沉積的供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)相連通,在反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有由陶瓷圍成的封閉室和兩塊上下平行的電極,其中上電極位于封閉室中,其下表面緊貼封閉室的底板面,上電極與等離子體激發(fā)脈沖電源相連,下電極接地并固定在封閉室外的加熱器上,加熱器與反應(yīng)室外的加熱溫控裝置相連,在加熱器的底部安裝有用于調(diào)節(jié)上、下兩電極間距的螺桿,供氣管的噴嘴位于兩平行電極間。該裝置結(jié)構(gòu)簡單,使用方便。應(yīng)用該裝置可以實現(xiàn)在鋁材表面涂覆類金剛石薄膜,大大提高了AL/DLC
復合材料的表面硬度、耐腐蝕性和電絕緣性等綜合性能。且成膜迅速,膜厚可達4-6ΜM而不脫落,結(jié)合牢固。
聲明:
“用于鋁材表面沉積類金剛石膜的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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