本實(shí)用新型涉及一種雙行程混合驅(qū)動(dòng)微納米壓痕/劃痕測(cè)試裝置，屬于精密傳感器及精密儀器技術(shù)領(lǐng)域。由混合驅(qū)動(dòng)單元、載荷檢測(cè)與量程切換單元、位移檢測(cè)單元、樣品移動(dòng)單元、基座、支撐板和導(dǎo)軌滑塊組件組成。本實(shí)用新型利用音圈電機(jī)、壓電疊堆?柔性鉸鏈實(shí)現(xiàn)混合驅(qū)動(dòng)，通過(guò)調(diào)整屏蔽罩（架）與力傳感器裝配關(guān)系，采用分段載荷檢測(cè)與量程切換方式，結(jié)合位移檢測(cè)單元可實(shí)現(xiàn)不同加載行程和壓入載荷的精確測(cè)量，并集成樣品移動(dòng)單元用于實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的壓入位置更換以及劃痕測(cè)試。采用模塊化設(shè)計(jì)思路，結(jié)構(gòu)緊湊，安全可靠，既可實(shí)現(xiàn)對(duì)塊狀金屬材料、薄膜材料及復(fù)合材料等常規(guī)納米壓痕/劃痕測(cè)試，又可對(duì)生物組織等軟材料進(jìn)行大行程加載測(cè)試，實(shí)用性更強(qiáng)。