本實(shí)用新型涉及一種可在線清潔的載板,它包括主載板和嵌設(shè)于主載板上的子載板;所述主載板上設(shè)有若干個用于容置子載板的子載板凹槽;所述子載板設(shè)有一個以上用于承載基片的基片凹槽,所述基片凹槽底面的中部鏤空;所述主載板包括主要由
碳纖維復(fù)合材料制成的主體以及包覆在主體外且主要由類金剛石膜或復(fù)合陶瓷膜制成的保護(hù)膜;所述子載板主要由
鋁合金制成。本實(shí)用新型的目的在于提供一種可在線清潔的載板,既能在腔室進(jìn)行在線清潔,延長生產(chǎn)時間,提高設(shè)備利用率,且保證載板長期運(yùn)行不容易變形,又能在保養(yǎng)后快速恢復(fù)膜層質(zhì)量。
聲明:
“可在線清潔的載板” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)