本發(fā)明涉及金剛石
復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種金剛石復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用。所述金剛石復(fù)合薄膜,包括金剛石和依次沉積在金剛石表面的鈦層、鉬層和鎳層。所述制備方法,包括如下步驟:在金剛石表面依次沉積形成鈦層、鉬層和鎳層,即得所述金剛石復(fù)合薄膜。本發(fā)明通過在金剛石表面沉積鈦層、鉬層和鎳層,在金剛石表面形成鈦鉬鎳金屬化結(jié)構(gòu)體系,提高金剛石復(fù)合薄膜的抗拉強(qiáng)度同時賦予金剛石良好的焊接高強(qiáng)和氣密性能,滿足作為窗口材料的高強(qiáng)度、低損耗、氣密焊接性能好等技術(shù)要求,可用于大功率電真空器件的輸出窗。
聲明:
“金剛石復(fù)合薄膜及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)