本發(fā)明涉及一種兼具壓力與非接觸式間隙測(cè)量功能的一體型柔軟傳感元件,屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。該一體型傳感元件包括絕緣封裝薄膜、壓敏薄膜和平面型電渦流線圈薄膜。絕緣封裝薄膜由聚酰亞胺構(gòu)成、壓敏薄膜層由導(dǎo)電高分子
復(fù)合材料構(gòu)成、平面型電渦流線圈薄膜由聚酰亞胺薄膜和覆合其上的銅箔線圈構(gòu)成。其中,導(dǎo)電高分子復(fù)合材料直接硫化在裸露的銅箔線圈上構(gòu)成一體化結(jié)構(gòu),通過(guò)獲取該一體化結(jié)構(gòu)的阻抗來(lái)實(shí)現(xiàn)壓力與非接觸式間隙測(cè)量。本發(fā)明研制的一體型傳感元件柔性好、厚度薄、工藝簡(jiǎn)單、成本低,僅用一套傳感系統(tǒng)就可實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量和非接觸式間隙測(cè)量,適用于工業(yè)設(shè)備狹小曲面層間壓力和間隙測(cè)量,其關(guān)鍵技術(shù)還可應(yīng)用于多功能電子皮膚的研制。
聲明:
“兼具壓力與非接觸式間隙測(cè)量功能的一體型柔軟傳感元件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)