一種高激光吸收的銅熔絲可以使消掉導(dǎo)體的熔絲部分所需要的激光能量最少。該類熔絲結(jié)構(gòu)允許形成能夠用相當(dāng)小的入射能量消除的銅熔絲。金屬布線含有一種熔絲連線段,其中該熔絲連線段由至少兩種金屬的疊層構(gòu)成。疊層金屬的底層材料是導(dǎo)電銅導(dǎo)體,蓋層金屬是鎢或鈦-鎢
復(fù)合材料,其厚度和光特性選擇為使蓋層金屬與底層金屬的結(jié)合提供對(duì)入射紅外能量的高吸收特性。公開了在整個(gè)熔絲連線上或在選擇部分的熔絲連線上提供蓋層材料的制造方法。
聲明:
“高激光吸收的銅熔絲及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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