本發(fā)明公開了一種基于超聲聚集方法的納米氣體傳感器加工工藝,包括以下步驟:將納尺度材料懸濁液的液滴滴在設(shè)于超聲臺或光滑基板上的超聲針系統(tǒng)上;利用上述超聲針系統(tǒng)中的超聲物理效應(yīng)在光滑基板或超聲臺上形成納尺度材料的聚集物;將納尺度材料的聚集物轉(zhuǎn)印至基板或柔性基底上;將高分子聚合物溶液滴到或噴射到納尺度材料的聚集物的表面,得到納米混合物液滴;將超聲振動板邊緣插入納米混合物液滴,在振動方向上前后移動超聲振動板,利用聲致流體分子間引力減小效應(yīng)使得納米混合物液滴扁平化,形成納米
復(fù)合材料膜;在納米復(fù)合材料膜上外接引線,得到氣體傳感器。本發(fā)明提供的氣體傳感器加工工藝具有簡單、綠色環(huán)保、適合于批量化生產(chǎn)等優(yōu)點。
聲明:
“基于超聲聚集方法的納米氣體傳感器加工工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)