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氮化硅基體的制備方法

668   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:05:11
本發(fā)明涉及一種氮化硅基體的制備方法,主要用于纖維增韌陶瓷基復(fù)合材料、多孔陶瓷材料基體的制備。本發(fā)明采用化學(xué)氣相滲透/化學(xué)氣相沉積技術(shù)在基底材料內(nèi)部/表面沉積氮化硅基體/涂層,通過控制工藝參數(shù)調(diào)整陶瓷基體的沉積速度、沉積厚度以及滲透均勻性。本發(fā)明充分利用化學(xué)氣相滲透/化學(xué)氣相沉積工藝的優(yōu)勢,制備的氮化硅基體具有沉積滲透深度大、與基底結(jié)合好、性能高等特點。結(jié)合氮化硅基體的透波特性,此種制備方法還將為連續(xù)纖維增韌陶瓷基復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)功能一體化設(shè)計奠定基礎(chǔ)。
聲明:
“氮化硅基體的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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