2O3修飾的石墨烯MEMS氣體傳感器的制備方法,復合材料"> 2O3修飾的石墨烯MEMS氣體傳感器的制備方法,一種基于CuO/In2O3修飾的石墨烯MEMS氣體傳感器的制備方法,它屬于氣體敏感型傳感器領(lǐng)域。該方法包括:一、納米CuO的制備;二、納米In2O3的制備;三、rGO?CuO/In2O3的制備;四、AlN陶瓷基板的制備;五、銀叉指電極的制備;六、銅加熱電極的制備;七、單晶硅襯底的制備;八、氣敏材料的涂敷。本發(fā)明通過分步式制備單一材料,一步超聲水熱制備復合材料的方法得到rGO?CuO/In2O3氣敏材料,此方法可以杜絕一步混合制備石墨烯基復合材料過程中所導致">
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