本發(fā)明提供的方法基于蒙特卡洛方法模擬粒子形成薄膜的隨機(jī)過程。根據(jù)所選多相材料的特點設(shè)定參與隨機(jī)事件的粒子數(shù)量和相關(guān)的能量參數(shù),并對薄膜基底的材料和形貌進(jìn)行選擇和定義,獲得三維薄膜生長模擬的過程信息。通過改變沉積相的參數(shù),沉積條件(如,溫度,基底表面形貌)等模擬條件,可以幫助技術(shù)人員發(fā)掘復(fù)合多相薄膜結(jié)構(gòu)形態(tài)形成的機(jī)理。
聲明:
“復(fù)合材料薄膜三維多相同步生長的模擬方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)