本實(shí)用新型涉及一種用于炭炭
復(fù)合材料板材氣相沉積的沉積室,包括主沉積室和多個(gè)分隔組件;主沉積室包括吊裝底板,吊裝底板上設(shè)置有4個(gè)支撐方柱安裝孔,每個(gè)安裝孔內(nèi)安裝一根支撐方柱,支撐方柱的頂部安裝橫梁,四塊沉積室側(cè)板安裝在支撐方柱的外側(cè),蓋板放置在橫梁的上方,吊裝底板、支撐方柱、橫梁、沉積室側(cè)板及蓋板形成沉積腔;多條插槽板平行安裝在沉積腔內(nèi)的吊裝底板上,插槽板上均勻設(shè)置插槽,插槽板的兩端設(shè)置固定孔;所述的分隔組件包括兩根隔條和連接兩根隔條的連接繩。本申請(qǐng)結(jié)構(gòu)合理、制作簡(jiǎn)單,可整體吊裝、操作方便,可擺放大尺寸板材,板材變形小、沉積氣氛流暢、無(wú)無(wú)效沉積面積,板材沉積表面均勻致密。
聲明:
“用于炭炭復(fù)合材料板材氣相沉積的沉積室” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)