本發(fā)明提供一種碳/碳
復(fù)合材料表面高溫抗氧化SiC/ZrC涂層的制備方法,包括如下步驟:送樣步驟:將放置有試樣的樣品臺傳送到濺射室,對濺射室進(jìn)行抽真空;主轟擊步驟:向?yàn)R射室內(nèi)充入氬氣,在Si靶、Zr靶和C靶加電壓和電流進(jìn)行轟擊;鍍膜步驟:開啟控制Si靶和C靶的直流電源經(jīng)濺射并沉積后制備滿足化學(xué)計(jì)量比的SiC層,然后開啟控制Si靶和C靶的直流電源經(jīng)濺射并沉積后制備滿足化學(xué)計(jì)量比的ZrC層;然后再依次按照上述步驟沉積SiC層、ZrC層,經(jīng)多次濺射并沉積后,完成鍍膜。通過該方法制備的SiC/ZrC涂層有效防止由于其熱膨脹系數(shù)過大而形成的過多的裂紋,操作工藝簡便、涂層結(jié)構(gòu)簡單、易于工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“碳/碳復(fù)合材料表面高溫抗氧化SiC/ZrC涂層的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)