本發(fā)明是一種制備超細碳氨硅
復合材料的氣相合成新工藝,工藝中采取直流等離子弧為熱源的密閉反應器中完成,所采用的原料為三氣甲基
硅烷和液氨,兩者按1.4-1.8:1的比例(液態(tài)重量比)注入反應器,并借助自由沉降過程中淬冷直接復合成固態(tài)微粉,反應借助調(diào)?控等離子體發(fā)生器輸出功率和N2、H2比例穩(wěn)定,保持反應溫度在llOOt-isoot之間,經(jīng)洋冷細化的微粉經(jīng)加熱后處理去除氣化物雜質(zhì)生成超細Si-N-C納米級復?合材料。
聲明:
“超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)