本發(fā)明公開一種快速制備高性能碳陶
復合材料的等離子沉積方法及設備,將碳陶纖維預制體放入真空室中,碳陶纖維預制體與高壓電源連接,碳陶纖維預制體外設感應線圈,通入真空室中的氣體介質在真空高壓下形成高溫等離子體,其中帶負電的分子基團在電場力作用下高速撞擊碳陶纖維預制體進行沉積。該方法以等離子氣源為介質,通過化學氣相沉積來制備高性能碳陶復合材料,加工效率高、致密度高。等離子沉積設備結構簡單,可對預制體快速致密化,設備能耗低,加工效率高。
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