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半導(dǎo)體大功率器件用銅-鉬銅-銅復(fù)合材料及其制備方法

974   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:09:01
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體大功率器件用銅?鉬銅?銅復(fù)合材料及其制備方法,包括如下步驟:⑴在石墨烯的表面化學(xué)鍍銅并烘干;⑵將純銅粉、鉬粉和鍍銅石墨烯粉末混合均勻后軋制成鉬銅生坯;⑶將純銅粉與鍍銅石墨烯粉末混合均勻后軋制成銅生坯;⑷將鉬銅生坯燒結(jié)成型;⑸軋制鉬銅燒結(jié)坯使其厚度變形量達(dá)到40%以上;⑹在鉬銅合金的上下表面各放一層銅生坯,然后燒結(jié)成型并隨爐冷卻;⑺將銅?鉬銅?銅復(fù)合燒結(jié)坯進(jìn)行雙襯板冷軋成型,總厚度變形量控制在10~35%;⑻將復(fù)合終軋坯去應(yīng)力退火。銅層和鉬銅層中分別含有0.05~0.5%石墨烯,石墨烯以表面化學(xué)鍍銅的形式加入,且鉬銅層中含5~30%銅。該復(fù)合材料在保持高導(dǎo)電性能的基礎(chǔ)上,顯著提高了強(qiáng)度和導(dǎo)熱性能。
聲明:
“半導(dǎo)體大功率器件用銅-鉬銅-銅復(fù)合材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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