本發(fā)明提供了一種碳/碳
復合材料坩堝及其制備方法、晶體生長設備,其中碳/碳復合材料坩堝包含坩堝體;坩堝體包括本體及夾層,本體具有用于置物的腔體,夾層設于本體的側壁內,本體與夾層的材質均為碳/碳復合材料;夾層的密度小于本體的側壁的密度,夾層的厚度沿本體的軸向自腔體的底部至腔體的敞口處的方向上逐漸增大;或者,夾層的密度大于本體的側壁的密度,夾層的厚度沿本體的軸向自腔體的底部至腔體的敞口處的方向上逐漸減小。該碳/碳復合材料坩堝自身具有軸向溫度梯度設計,無需通過加熱裝置的結構設計來產生軸向溫度梯度,可以簡化加熱裝置的結構,并且可以兼容感應加熱長晶爐和電阻加熱長晶爐。
聲明:
“碳/碳復合材料坩堝及其制備方法、晶體生長設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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