本發(fā)明為一種二氧化硅膜包覆的二氧化硅?金剛石
復(fù)合材料及其制備方法,解決了金剛石和二氧化硅兩種材料應(yīng)用限制的問題。該復(fù)合材料由芯部和表層組成,芯部為多層膜結(jié)構(gòu),每層膜是由二氧化硅和金剛石組成的混合相,表層為二氧化硅膜。該復(fù)合材料制備時(shí),首先采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)在石墨基體表面進(jìn)行金剛石和碳化硅的共沉積,隨后對碳化硅?金剛石復(fù)合膜進(jìn)行微波氧等離子體刻蝕,形成二氧化硅?金剛石混合相膜,繼續(xù)制備多層二氧化硅?金剛石混合相膜,形成二氧化硅?金剛石的多層膜結(jié)構(gòu),最后在二氧化硅?金剛石的多層膜結(jié)構(gòu)表層制備二氧化硅膜即可。本發(fā)明復(fù)合材料制備沒有采用傳統(tǒng)的涂層工藝,制備的復(fù)合材料具有良好的透過性、散熱性和抗氧化性,適合作為窗口材料使用。
聲明:
“二氧化硅膜包覆的二氧化硅-金剛石復(fù)合材料及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)