JX300FP是一款12寸全自動Si襯底拋光設(shè)備，專為滿足高精度拋光需求而設(shè)計。它采用8Head3Platen結(jié)構(gòu)，產(chǎn)能高，能大幅提升生產(chǎn)效率。每個Head可分區(qū)域精密加壓，有效提高工件平坦度，確保拋光精度。設(shè)備功能齊全，標(biāo)配清洗機，還可根據(jù)工藝需求選配HPMJ和在線檢測模塊。它支持SECE/GEM自動化對接，實現(xiàn)高效生產(chǎn)管理。在服務(wù)方面，提供24小時×7天技術(shù)支持，2小時內(nèi)給出解決方案，2天內(nèi)到達現(xiàn)場解決問題，為客戶提供了全方位的保障。

12寸全自動襯底拋光 JX300FP

JX300FP是一款12寸全自動Si襯底拋光設(shè)備 可以滿足客戶高精度拋光需求 提供專業(yè)的拋光工藝及定制化的接口對應(yīng)各種工藝路線

設(shè)備優(yōu)點：

高產(chǎn)能：通過8Head3Platen的結(jié)構(gòu)，有效提高生產(chǎn)產(chǎn)能

高精度：每個Head可分多個區(qū)域，進行精密加壓，提高工件的平坦度

全功能：標(biāo)配清洗機，根據(jù)工藝需求，可選配HPMJ、在線檢測

自動化：SECE/GEM對應(yīng)

服務(wù)快：24H×7天技術(shù)對應(yīng)，2H內(nèi)提供解決方案，2天內(nèi)達到現(xiàn)場對應(yīng)