一種CZ硅晶體生長(zhǎng)爐碳-碳
復(fù)合材料導(dǎo)流筒及其制備方法,其CZ硅晶體生長(zhǎng)爐碳-碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒簡(jiǎn)體由表面涂層、碳-碳復(fù)合材料表層和碳-碳復(fù)合材料中心層構(gòu)成。其制備方法包括以下步驟:(1)設(shè)計(jì)和制造導(dǎo)流筒胎具;(2)設(shè)計(jì)炭氈的形狀和尺寸;并據(jù)此尺寸裁剪下料;(3)坯體制備;(4)坯體固化;(5)CVD增密處理;(6)導(dǎo)流筒脫模,對(duì)其表面進(jìn)行拋光打磨;(7)二次CVD增密處理;(8)對(duì)導(dǎo)流筒的端部進(jìn)行機(jī)加工,精整其余表面;(9)對(duì)精整后的導(dǎo)流筒進(jìn)行表面抗氧化抗沖蝕涂層處理;(10)烘干、高溫純化處理。本發(fā)明導(dǎo)流筒產(chǎn)品的整體性好,使用可靠性高,使用壽命長(zhǎng),更換操作方便;可提高成晶率,降低拉晶能耗10%左右。
聲明:
“CZ硅晶體生長(zhǎng)爐碳-碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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