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體聲波諧振結(jié)構(gòu)及聲波器件

1460   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:11:02
本公開實施例提供一種體聲波諧振結(jié)構(gòu),包括:襯底;依次位于所述襯底上的反射結(jié)構(gòu)、第一電極、壓電層和第二電極;其中,所述第一電極在所述襯底的正投影與所述反射結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影的重疊區(qū)域為第一重疊區(qū);第一凸起結(jié)構(gòu),位于所述壓電層或所述第二電極相對遠離所述襯底的一側(cè);其中,所述第一凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影與所述第一重疊區(qū)至少部分重疊;第二凸起結(jié)構(gòu),至少部分位于所述第二電極相對遠離所述襯底的一側(cè);其中,所述第二凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影與所述第一凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影至少部分重疊;修頻層,覆蓋所述第二電極、所述壓電層、所述第一凸起結(jié)構(gòu)和所述第二凸起結(jié)構(gòu)相對遠離所述襯底的表面。
聲明:
“體聲波諧振結(jié)構(gòu)及聲波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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