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平面波導(dǎo)裝置的制造方法

1000   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:11:01
本發(fā)明提供了一種平面波導(dǎo)裝置的制造方法,包括以下步驟:a.在波導(dǎo)的表面上形成第一組膜層區(qū)段,該第一組膜層區(qū)段中的相鄰區(qū)段之間彼此隔開(kāi);b.使用掩膜對(duì)該第一組膜層區(qū)段進(jìn)行曝光,以固化該第一組膜層區(qū)段的所需部分;c.去除該第一組膜層區(qū)段中未經(jīng)固化的邊緣部分;d.在該第一組膜層區(qū)段中的至少部分相鄰區(qū)段之間形成第二組膜層區(qū)段;以及e.使用掩膜對(duì)該第二組膜層區(qū)段進(jìn)行曝光,以固化該第二組膜層區(qū)段。
聲明:
“平面波導(dǎo)裝置的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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