本發(fā)明揭示了一種干法轉(zhuǎn)印光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法。本發(fā)明通過(guò)對(duì)襯底進(jìn)行修飾以降低光刻膠與襯底的粘附力,然后在光刻膠上曝光并顯影得到所需的結(jié)構(gòu),再利用黏貼層選擇性的把光刻膠從襯底上剝離,把剝離下來(lái)的光刻膠轉(zhuǎn)移釋放到所需要的襯底上,然后鍍金屬并lift?off處理,本發(fā)明突破了傳統(tǒng)加工對(duì)襯底材料,形狀和尺寸的限制,可實(shí)現(xiàn)任意襯底上微納結(jié)構(gòu)的制備。
聲明:
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