一種共蒸鍍不同的蒸鍍材料的蒸鍍裝置,包括:腔室,蒸鍍對象物設(shè)于腔室內(nèi);向蒸鍍對象物吐出第1蒸鍍材料的蒸氣的第1蒸鍍源;向蒸鍍對象物吐出第2蒸鍍材料的蒸氣的第2蒸鍍源;對第1蒸鍍材料進(jìn)行加熱的第1加熱部;對第2蒸鍍材料進(jìn)行加熱的第2加熱部;和控制第1加熱部及第2加熱部的加熱控制部;加熱控制部構(gòu)成為能夠?qū)⒌?及第2加熱部控制成第2蒸鍍材料的升溫比第1蒸鍍材料的升溫滯后預(yù)定時(shí)間而開始。
聲明:
“蒸鍍裝置及其控制方法、使用了蒸鍍裝置的蒸鍍方法、以及器件的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)