本申請(qǐng)公開(kāi)一種島形薄膜結(jié)構(gòu)的形成方法和MEMS器件,所述形成方法包括:提供基底;提供掩模板,所述掩模板上具有通孔;將所述掩模板貼合固定于所述基底表面,所述通孔暴露出基底的部分表面;在所述通孔內(nèi)以及所述掩模板表面沉積薄膜層;將所述掩模板與所述基底表面分離,在所述基底表面保留位于所述通孔內(nèi)的島形薄膜結(jié)構(gòu)。上述島形薄膜結(jié)構(gòu)的形成方法具有工藝步驟簡(jiǎn)單、成本低、工藝穩(wěn)定性高的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“島形薄膜結(jié)構(gòu)的形成方法和MEMS器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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