本發(fā)明涉及紅外探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)了一種非制冷紅外器件,包括:敏感區(qū)、懸臂梁、框架、有源器件和金屬引線(xiàn),其中,所述敏感區(qū)通過(guò)所述懸臂梁與所述框架機(jī)械連接,并懸空;所述有源器件位于所述框架上,并通過(guò)所述懸臂梁與所述敏感區(qū)電學(xué)連接;所述金屬引線(xiàn)位于所述有源器件上,將有源器件信號(hào)引出。本發(fā)明還公開(kāi)了一種非制冷紅外器件的制作方法。本發(fā)明通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)以及與器件兼容的MEMS工藝,實(shí)現(xiàn)了一種具有開(kāi)關(guān)與放大功能的非制冷紅外器件,該器件可與電路分別制造,且后期通過(guò)打線(xiàn)集成;從而克服現(xiàn)有的單片集成和3D集成為實(shí)現(xiàn)制作,器件和電路的性能需彼此妥協(xié)的問(wèn)題。
聲明:
“非制冷紅外器件及其制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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