一種鋯酸鉛納米復合電介質(zhì)薄膜及其制備方法,屬于電子材料、
功能材料和智能材料的技術(shù)領(lǐng)域,所述材料的Al:PbZrO3體積比為0.5?2.0%:99.5?98.0%,富鋁納米粒子以層狀分布在鋯酸鉛基體上,其擊穿電場強度和
儲能密度與鋯酸鉛薄膜對比分別提高了約182%和68%。該材料是通過真空蒸鍍和化學溶液沉積法制備的,具有工藝簡單、成本低廉、可大面積均勻成膜等優(yōu)點,將在脈沖功率器件領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
聲明:
“鋯酸鉛納米復合電介質(zhì)薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)