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耐事故包殼Cr/CrN復(fù)合涂層的制備方法

955   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:05:02
本發(fā)明公開了一種耐事故包殼Cr/CrN復(fù)合涂層的制備方法,屬于功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明利用梯度反應(yīng)磁控濺射技術(shù),首先在Zr?4基底上制備一層Cr層,兩種金屬的匹配性很好,具有優(yōu)異的結(jié)合力,然后通過逐漸增加濺射艙內(nèi)的N2含量,先沉積亞化學(xué)計量比的CrxNy,此時涂層內(nèi)既存在金屬鍵又存在離子鍵,有效的增強了結(jié)合力,最后在濺射艙內(nèi)N2的含量達到一定程度時,濺射出的Cr靶材粒子會全部生成CrN,實現(xiàn)外層CrN的沉積,使獲得的復(fù)合涂層在保證具有較好的高溫抗氧化性能和耐磨性能的同時,大大提升了涂層的結(jié)合力,達到涂層包殼的應(yīng)用要求。
聲明:
“耐事故包殼Cr/CrN復(fù)合涂層的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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