一種梯度界面應(yīng)力調(diào)控下?lián)诫s鈦酸鍶薄膜磁敏材料的制備方法,屬于電子
功能材料與器件以及薄膜材料生長領(lǐng)域。本發(fā)明通過構(gòu)建摻雜鈦酸鍶薄膜材料與襯底間的梯度應(yīng)力場與界面極化場觸發(fā)材料輸運(yùn)中的強(qiáng)關(guān)聯(lián)效應(yīng),以實(shí)現(xiàn)對(duì)所生長摻雜鈦酸鍶薄膜材料磁阻系數(shù)的大幅提高。精準(zhǔn)控制等離子體性質(zhì)、薄膜與襯底間晶格失配度、薄膜與襯底材料組分,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)摻雜型鈦酸鍶薄膜材料與襯底間的界面應(yīng)力梯度場與界面極化場的優(yōu)化設(shè)計(jì)與控制,是實(shí)現(xiàn)磁阻大幅提高的必要條件。本發(fā)明所獲得的一種處于梯度應(yīng)力場作用下的摻雜鈦酸鍶磁場敏感材料,可應(yīng)用于進(jìn)一步制備磁場探測、磁傳感等電子器件方面。
聲明:
“梯度界面應(yīng)力調(diào)控下?lián)诫s鈦酸鍶薄膜磁敏材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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