本發(fā)明涉及一種注入
稀土元素的白光發(fā)射氮化鋁材料、制備方法及應(yīng)用。將厚度為50nm~100nm的氮化鋁薄膜材料置于離子注入裝置中,分別進(jìn)行Pr、Er和Tm稀土離子的注入和退火處理,注入的能量范圍為200~400KeV,注入角度為0~100,各離子的注入劑量相同,分別為1014~1016個(gè)/平方厘米。制備得到的氮化鋁材料具有白光發(fā)射功能,它可以作為核心
功能材料,應(yīng)用于光發(fā)射二極管、平板顯示等領(lǐng)域中。
聲明:
“注入稀土元素的白光發(fā)射氮化鋁材料、制備方法及應(yīng)用” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)