本發(fā)明公開了一種多功能薄膜高靈敏度CMUTs氣體傳感器及其制備方法,本發(fā)明采用
石墨烯、二硫化鉬以及MXenes(二維過渡金屬碳化物或氮化物)等同時(shí)具有高彈性模量、氣體敏感性以及導(dǎo)電性的多
功能材料作為CMUTs敏感元件,即單層懸空薄膜同時(shí)用作CMUTs振動(dòng)薄膜、上電極以及敏感材料層,實(shí)現(xiàn)了振動(dòng)薄膜、上電極以及敏感材料層等多層復(fù)合薄膜的一體化設(shè)計(jì),可有效減小薄膜質(zhì)量、提高單元一致性以及諧振頻率,進(jìn)而可實(shí)現(xiàn)CMUTs氣體傳感器檢測(cè)極限及檢測(cè)靈敏度等綜合性能的大幅提高。
聲明:
“多功能薄膜高靈敏度CMUTs氣體傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)