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硫化鎘陶瓷靶材的制備方法

742 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 15:05:01

本發(fā)明涉及功能材料技術領域，具體涉及一種硫化鎘陶瓷靶材的制備方法。硫化鎘陶瓷靶材的制備方法，第一步，原料配制：CdS粉末以及助熔劑；第二步，混合：先將CdC12溶于熱水后與PVA水溶液混合均勻，用小噴壺噴灑到CdS粉末中，并充分攪拌均勻；第三步，烘干：將混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，過篩：將烘干后篩選出30目的粉料顆粒；第五步，困料：過篩后的粉料顆粒密閉困料，確保水分均勻；第六步，成型：將粉料裝入模具進行干壓成型；第七步，燒結：將壓好的樣品放入坩堝內(nèi)進行燒結，采用真空燒結的方式，并真空隨爐冷卻至室溫，制成硫化鎘陶瓷靶材。通過本發(fā)明制備的靶材試樣能滿足磁控濺射鍍膜工藝對靶材的指標要求。

聲明：

“硫化鎘陶瓷靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)