亞穩(wěn)態(tài)高鎂MgZnO固溶合金薄膜激光燒蝕制作方法屬于光學
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。現(xiàn)有技術(shù)Mg的摻雜量一般都小于0.33。本發(fā)明之亞穩(wěn)態(tài)高鎂MgZnO固溶合金薄膜激光燒蝕制作方法屬于一種Sol?Gel法,其特征在于,確定MgxZn1?xO中的x的值為:0.25≦x≦0.75,按所述x的值確定乙酸鋅和乙酸鎂的摩爾比,將所述乙酸鋅和乙酸鎂溶于有機溶劑,加入與鋅離子和鎂離子等物質(zhì)量的乙醇胺,攪拌后得溶膠液;將所述溶膠液旋涂于基片上,低溫熱處理得凝膠膜;采用激光燒蝕所述凝膠膜,激光功率為5~30W,燒蝕時間為1~1000sec,激光光源出光口與凝膠膜之間的距離為1~50cm,得亞穩(wěn)態(tài)高鎂MgZnO固溶合金薄膜。
聲明:
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