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柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法

965 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 15:03:01

本發(fā)明公開了一種柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法。傳感器的結構為以非晶碳a?C薄膜/柔性襯底為功能材料,在a?C薄膜的兩端設置銀電極，由導電膠引出。本發(fā)明提供的壓力敏感材料的制備，以硅片為襯底，在襯底上生長氧化層為犧牲層，采用化學或物理的方法，在犧牲層上生長功能性薄膜材料；將柔性襯底粘貼于功能性薄膜表面，再采用酸腐蝕方法將犧牲層腐蝕后，得到一種柔性功能材料。本發(fā)明提供的應力傳感器具有優(yōu)異的靈敏度和可彎曲特性，抗疲勞性好；并且結構簡單，成本低廉，使用方便、安全、可靠，可廣泛用于可穿戴領域。

聲明：

“柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)