本發(fā)明屬于電子
功能材料和器件領(lǐng)域,具體涉及鈦酸鉍鈉基鐵電薄膜的制備方法。本發(fā)明提出的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇鐵電薄膜的制備方法,是一種化學(xué)制備方法,即溶膠-凝膠法,其襯底采用Pt/Ti/SiO2/Si,前驅(qū)體溶液的濃度控制在0.1M-0.3M之間,通過加入一種新型螯合劑-氨水,獲得澄清透明的鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇溶膠,并制備鐵電薄膜。本發(fā)明的方法采用一種新型螯合劑-氨水,制備鈦酸鉍鈉-鈦酸鋇鐵電薄膜,使得薄膜的性能能夠得到優(yōu)化。
聲明:
“鈦酸鉍鈉基鐵電薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)