本實(shí)用新型涉及一種微區(qū)可控納米功能材料合成加熱裝置，解決了現(xiàn) 有納米功能材料合成設(shè)備存在的體積龐大、耗能、耗時(shí)、合成方法單一且 可控性差的問(wèn)題。本實(shí)用新型包括矩形盒體和盒蓋，盒體相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)壁 上分別設(shè)有進(jìn)氣接口和出氣接口，另兩側(cè)壁上分別設(shè)有電線接口；盒體內(nèi) 由下至上依次設(shè)有冷卻水管、散熱基座、工作臺(tái)、接線臺(tái)、下平板和上平 板，工作臺(tái)中部設(shè)有上大下小的階梯形孔，接線臺(tái)上設(shè)有接線頭和探針。 本實(shí)用新型體積小，體積為240dm3，便于移動(dòng)；抽真空耗時(shí)縮短至5-15分 鐘，升溫與冷卻時(shí)間高度可控，可在2-10分鐘內(nèi)完成整個(gè)升降溫過(guò)程；可 以在已做好外電路的硅襯底上制備納米結(jié)構(gòu)；可在同一襯底上集成多種納 米結(jié)構(gòu)；水、電、氣消耗減少至原先的5-10％。