亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 功能材料技術

> 形成復合功能材料結構的方法

形成復合功能材料結構的方法

967   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:28
本發(fā)明涉及半導體技術領域,具體涉及一種形成復合功能材料結構的方法。所述方法,包括如下步驟:注入原子種類作用于施主晶片,在離子注入投影射程周圍形成脆弱區(qū);將施主晶片和襯底晶片進行鍵合;對鍵合后的結構在低真空下進行兩步退火熱處理,使得脆弱區(qū)從施主晶片剝離,在襯底晶片上形成薄層結構;對于剝離后的施主晶片和含有薄層結構的襯底晶片進行處理,得到所要求厚度的施主材料和所需要的復合功能材料結構。本發(fā)明將退火過程放在低真空中進行,能夠降低在外部對晶圓的壓力,從而減少了晶圓內部微小缺陷生長、成熟的阻力;而且還降低熱預算,有利于形成高質量的復合功能材料結構,提高了注入離子的剝離效率。
聲明:
“形成復合功能材料結構的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
功能材料
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關注官方微信
中冶有色技術平臺微信公眾號中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記