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AlCr+α-Al₂O₃濺射靶材及制備與應用

855 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 15:00:02

本發(fā)明屬于金屬及其氧化物涂層技術領域，公開了一種AlCr+α?Al₂O₃濺射靶材及制備與應用。所述濺射靶材由10～20wt％的α?Al₂O₃，36.2～40.7wt％的Cr和43.8～49.3wt％的Al組成。將Al粉、Cr粉與α?Al₂O₃粉經混粉、加壓燒結，得到致密AlCr+α?Al₂O₃濺射靶材。所得AlCr+α?Al₂O₃濺射靶材通過射頻磁控濺射在基體溫度520～600℃和10％～15％O₂分壓下沉積可沉積出單相納米α?(Al,Cr)₂O₃薄膜，所沉積的薄膜硬度高，韌性好。

聲明：

“AlCr+α-Al₂O₃濺射靶材及制備與應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)