亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 失效分析技術(shù)

> 光刻方法

光刻方法

656   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:01:09
本發(fā)明提供的一種光刻方法,包括:提供測(cè)試晶圓;使用設(shè)計(jì)掩模版對(duì)所述測(cè)試晶圓進(jìn)行光刻工藝,在測(cè)試晶圓表面形成光刻膠圖形;檢測(cè)所述光刻膠圖形,查找發(fā)生圖形坍塌的區(qū)域;根據(jù)所述光刻膠圖形的坍塌區(qū)域,制作修正掩模版,所述修正掩模版具有開(kāi)口,所述開(kāi)口與所述圖形坍塌區(qū)域相對(duì)應(yīng);提供產(chǎn)品晶圓;分別使用所述修正掩模版以及設(shè)計(jì)掩模版對(duì)產(chǎn)品晶圓進(jìn)行曝光,在產(chǎn)品晶圓表面形成光刻膠圖形。本發(fā)明通過(guò)對(duì)已發(fā)生圖形坍塌的光刻膠區(qū)域進(jìn)行二次曝光,使得該區(qū)域光刻膠的圖形失效,從而避免了光刻膠缺陷的擴(kuò)散。
聲明:
“光刻方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
失效分析
全國(guó)熱門(mén)有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門(mén)技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記