本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于高頻率微尺度聲表面波器件測(cè)試的裝置，包括真空手套箱、微型手動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,所述真空手套箱包括真空手套箱箱體和機(jī)械泵，所述微型手動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)包括載臺(tái)機(jī)構(gòu)、探針機(jī)構(gòu)和顯微鏡機(jī)構(gòu)，所述載臺(tái)機(jī)構(gòu)包括工作臺(tái)、載物臺(tái)和卡盤，兩個(gè)探針?lè)謩e為輸入探針和輸出探針，所述矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸出測(cè)試端口通過(guò)輸出導(dǎo)線與所述輸出探針連接，所述矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的輸入測(cè)試端口通過(guò)輸入導(dǎo)線與所述輸入探針連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，成本低，增強(qiáng)了高頻率微尺度聲表面波器件測(cè)試的可靠性，確保高頻率微尺度聲表面波器件失效測(cè)試準(zhǔn)確性，實(shí)用性強(qiáng)。