本發(fā)明公開了一種復(fù)雜工況下MEMS慣性器件可靠性評(píng)測方法，包括：確定復(fù)雜工況下MEMS慣性器件的失效模式與失效機(jī)理；根據(jù)MEMS器件的材料、結(jié)構(gòu)、工藝等本構(gòu)特性以及器件在復(fù)雜工況下的失效機(jī)制及兩者的關(guān)聯(lián)性分析，確定MEMS慣性器件在各敏感應(yīng)力下的可靠性評(píng)價(jià)模型；根據(jù)確定的可靠性評(píng)價(jià)模型及加速因子，設(shè)計(jì)確定評(píng)價(jià)MEMS慣性傳感器在復(fù)雜工況下可靠性評(píng)估方法；設(shè)計(jì)形成適應(yīng)多復(fù)雜工況的加速評(píng)價(jià)試驗(yàn)方法。本發(fā)明從MEMS慣性器件中材料?工藝?結(jié)構(gòu)的失效模式、失效機(jī)理出發(fā)，構(gòu)建關(guān)鍵結(jié)構(gòu)相關(guān)失效物理模型，并引入環(huán)境載荷因子，最終建立MEMS慣性器件在復(fù)雜工況下的可靠性加速模型，可快速評(píng)價(jià)器件可靠性。