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判別背柵石墨烯場效應(yīng)晶體管器件失效的方法

956   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:38
本發(fā)明公開一種判別背柵石墨烯場效應(yīng)晶體管器件失效的方法,先在漏極電極和源極電極之間施加500mV的電壓,在n型Si襯底和源極電極之間施加-4V~4V的柵壓,得到石墨烯場效應(yīng)晶體管的轉(zhuǎn)移特性曲線,該轉(zhuǎn)移特性曲線表現(xiàn)為雙極性,則石墨烯場效應(yīng)晶體管沒有失效;再將n型Si襯底和源極電極之間的柵壓從0V逐漸增加到10V,測試通過柵極的電流,最后在漏極電極和源極電極之間施加500mV的電壓,在n型Si襯底和源極電極之間施加掃描電壓-4V~4V,得到晶體管的轉(zhuǎn)移特性曲線,表現(xiàn)為單向?qū)щ娦裕瑒t石墨烯場效應(yīng)晶體管失效;通過測試晶體管的轉(zhuǎn)移特性曲線即可判別出該器件是否已經(jīng)發(fā)生擊穿,操作簡便。
聲明:
“判別背柵石墨烯場效應(yīng)晶體管器件失效的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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