本公開實(shí)施例公開了一種物理失效分析樣品及其制備方法,所述方法包括:提供待分析結(jié)構(gòu);其中,所述待分析結(jié)構(gòu)包括相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面,失效區(qū)域位于所述第一表面和所述第二表面之間;在所述待分析結(jié)構(gòu)的第一表面形成凹槽;其中,所述凹槽包括第一側(cè)壁和第二側(cè)壁,所述第一側(cè)壁覆蓋所述失效區(qū)域;在所述第一側(cè)壁與所述失效區(qū)域之間的相對(duì)距離小于預(yù)設(shè)距離時(shí),轟擊所述第二側(cè)壁的組成粒子;其中,被轟擊的至少部分所述組成粒子濺射至所述第一側(cè)壁,形成覆蓋所述失效區(qū)域的第一保護(hù)層。
聲明:
“物理失效分析樣品及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)