本發(fā)明公開了一種固態(tài)參比電極及其壓頭裝置和制備方法,其中,第一涂層、第一導(dǎo)電層、硅晶片、第二導(dǎo)電層和信號(hào)傳輸結(jié)構(gòu);沿所述第一涂層至所述第二導(dǎo)電層的垂直方向上,所述第一涂層、所述第一導(dǎo)電層、所述硅晶片和所述第二導(dǎo)電層依次層疊;所述信號(hào)傳輸結(jié)構(gòu)焊接在所述第二導(dǎo)電層上,所述第一涂層位于所述第一導(dǎo)電層背離所述硅晶片的一側(cè)表面,本發(fā)明實(shí)施例提出的固態(tài)參比電極方便保存和維護(hù),其電壓穩(wěn)定性高,可適用于精密的
電化學(xué)檢測(cè),電極體積小,可以適用于測(cè)序儀相關(guān)的微小結(jié)構(gòu)中。
聲明:
“固態(tài)參比電極及其壓頭裝置和制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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