本實用新型公開一種等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備,包括:真空腔體(10),設(shè)置有多個加熱元件;加熱臺(20),設(shè)置在真空腔體的內(nèi)部;勻氣裝置(30),設(shè)置在真空腔體的內(nèi)部,并位于加熱臺的上方,且朝向加熱臺出氣;以及進(jìn)氣裝置(40),設(shè)置在真空腔體的外部,并與勻氣裝置相通,所述等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備還包括:通孔(11),設(shè)置所述真空腔體(10)的位置高于所述加熱臺(20)的腔壁上,并且通過透明密封件(50)而與真空腔體實現(xiàn)密封連接,以及紅外熱像儀(60),其設(shè)置在真空腔體的外側(cè),并經(jīng)由透明密封件對加熱臺的溫度進(jìn)行探測。本實用新型的等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備的操作簡單,且測量范圍比較廣,測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。
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