本實(shí)用新型提供一種化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)，包括研磨臺(tái)、研磨墊、研磨液輸送裝置、研磨頭裝置以及研磨頭清洗及晶圓裝卸單元，所述研磨頭裝置設(shè)置有紅外發(fā)射器，所述研磨頭清洗及晶圓裝卸單元設(shè)有與紅外發(fā)射器相對(duì)應(yīng)的所述校準(zhǔn)測試用標(biāo)記，當(dāng)紅外發(fā)射器發(fā)射的紅外光線照射到校準(zhǔn)測試用標(biāo)記上時(shí)，研磨頭裝置與研磨頭清洗及晶圓裝卸單元對(duì)準(zhǔn)。通過紅外發(fā)射器和校準(zhǔn)測試用標(biāo)記點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的位置校準(zhǔn)，非常直觀、簡便的去校準(zhǔn)研磨頭裝置至研磨頭清洗及晶圓裝卸單元的位置，可以最大程度的保證研磨頭裝置至研磨頭清洗及晶圓裝卸單元的位置不存在偏差，大大提升了化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)的裝機(jī)與修機(jī)效率，從而保證化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)的正常工作以及產(chǎn)品質(zhì)量。