本發(fā)明公開了一種化學極化場效應分子識別傳感器的設計及制作工藝。除在器件結構、版圖設計和制造工藝方面的創(chuàng)新外,把物理原理與分子自組裝技術和工藝相結合,產(chǎn)生新的檢測技術和方法。基于化學極性分子和生物分子具有極性并可誘導硅基底產(chǎn)生極性的特點,通過分子自組裝技術和LB膜技術將極性分子或生物分子組裝于場效應器件的柵介質(zhì)上成為分子敏感膜柵,該分子敏感膜柵與柵介質(zhì)材料交換電子,使柵介質(zhì)材料發(fā)生極化,從而改變了柵介質(zhì)材料中固定電荷的分布和數(shù)量。另外,這種自組裝結構的分子敏感膜柵與半導體硅之間還存在功函數(shù)差。柵介質(zhì)中固定電荷數(shù)量及材料功函數(shù)差的改變將引起硅電場效應器件表面溝道的導電特性發(fā)生變化。利用該變化可對極性分子、生物分子實現(xiàn)靈敏快速檢測。
聲明：
“基于化學極化場效應的分子識別傳感器的設計與制作” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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編輯：管理員
來源：中冶有色技術網(wǎng)
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2025年03月28日 ~ 30日 
