本發(fā)明涉及一種集成式真空發(fā)生器性能檢測(cè)設(shè)備,包括:第一氣路,其包括依次連接的第一電子閥、耗氣流量表和進(jìn)氣壓力表,第一電子閥控制外部氣源與待測(cè)集成式真空發(fā)生器的進(jìn)氣接頭之間的通斷;第二氣路,其包括依次連接的第二電子閥、真空流量表和真空壓力表,第二電子閥控制所述集成式真空發(fā)生器的抽真空接頭與大氣之間的通斷;PLC控制器,其與第一電子閥、第二電子閥相連;只開(kāi)啟第一電子閥,可對(duì)集成式真空發(fā)生器進(jìn)行內(nèi)漏檢測(cè),然后,依次開(kāi)啟第二電子閥和真空發(fā)生器的真空電磁閥,可進(jìn)行最大真空度、最大耗氣量以及最大真空流量的檢測(cè),該檢測(cè)結(jié)束后,開(kāi)啟真空發(fā)生器的破壞電磁閥,進(jìn)行最大破壞流量的檢測(cè),整體結(jié)構(gòu)容易實(shí)現(xiàn)且檢測(cè)數(shù)據(jù)全面。
聲明:
“一種集成式真空發(fā)生器性能檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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